Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications
tarafından
 
Kaariainen, Tommi.

Başlık
Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications

Yazar
Kaariainen, Tommi.

Yazar Ek Girişi
Kaariainen, Tommi.

Basım Bilgisi
2nd ed.

Yayın Bilgileri
Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, c2013.

Fiziksel Tanımlama
xv, 253 p. : ill.

Konu Başlığı
Chemical vapor deposition.
 
Epitaxy.
 
Microelectronics.
 
Nanotechnology.

Tür
Electronic books.

Tüzel Kişi Ek Girişi
ProQuest (Firm)

Elektronik Erişim
Click to View


Yer NumarasıDemirbaş NumarasıShelf LocationShelf LocationHolding Information
TS695 .K33 20131013873-1001Ebook CentralEbook Central