Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications
tarafından
Kaariainen, Tommi.
Başlık
:
Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications
Yazar
:
Kaariainen, Tommi.
Yazar Ek Girişi
:
Kaariainen, Tommi.
Basım Bilgisi
:
2nd ed.
Yayın Bilgileri
:
Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, c2013.
Fiziksel Tanımlama
:
xv, 253 p. : ill.
Konu Başlığı
:
Chemical vapor deposition.
Epitaxy.
Microelectronics.
Nanotechnology.
Tür
:
Electronic books.
Tüzel Kişi Ek Girişi
:
ProQuest (Firm)
Elektronik Erişim
:
| Yer Numarası | Demirbaş Numarası | Shelf Location | Shelf Location | Holding Information |
|---|
| TS695 .K33 2013 | 1013873-1001 | Ebook Central | Ebook Central | |