Parametrisches optisches messen bei der herstellung von mikrostrukturen mit beliebiger, ebener oberflaechengeometrie
Başlık:
Parametrisches optisches messen bei der herstellung von mikrostrukturen mit beliebiger, ebener oberflaechengeometrie
Yazar:
Bürg, Bernhard, author.
Genel Not:
Source: Dissertation Abstracts International, Volume: 76-07C.
Notlar:
School code: 1553